Vaksis PVD-handy serisi, handy kelimesinin sözlük anlamı gibi kolay ve rahat kullanılabilirdir. Sistem ile aynı yüklemede çok katlı kaplamalar yapılabilir.

  • En Düşük Basınç ≈ 2x10-7 Torr
  • Alttaş Boyutu Maks. 4” çapında
  • Alttaş Isıtma Maks. 500o
  • Alttaş Döndürme 10 rpm
  • Sıcaklık Kontrol Sistemi PID yöntemiyle
  • Yükleme Döndürülerek açılan bell jar' dan
  • Kalınlık Ölçümü Büyütme sırasında kuvars kristal ile ölçüm
  • Kontrol Tam otomatik (Yarı otomatik ve manuel opsiyoneldir)
BROŞÜRÜ İNDİR

GÜÇ KAYNAKLARI

  • Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
  • Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
  • Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı