PVD handy
Vaksis PVD-handy serisi, handy kelimesinin sözlük anlamı gibi kolay ve rahat kullanılabilirdir. Sistem ile aynı yüklemede çok katlı kaplamalar yapılabilir.
- En Düşük Basınç ≈ 2x10-7 Torr
- Alttaş Boyutu Maks. 4” çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 500oC
- Alttaş Döndürme 10 rpm
- Sıcaklık Kontrol Sistemi PID yöntemiyle
- Yükleme Döndürülerek açılan bell jar' dan
- Kalınlık Ölçümü Büyütme sırasında kuvars kristal ile ölçüm
- Kontrol Tam otomatik (Yarı otomatik ve manuel opsiyoneldir)
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
