MiDAS Coating Systems platformunun Glovebox entegre edilmiş serisidir. Glovebox ile tamamen inert ortamda ince film kaplama çalışmalarının yapılabileceği bir araştırma ve geliştirme sistemidir.

  • En Düşük Basınç ≤ 5x10-8 Torr
  • Kazan Sayısı Eldivenli kabin başına 2'ye kadar
  • Alttaş Boyutu 4”- 8” çapında
  • Alttaş Isıtma maks. 800o
  • Alttaş Döndürme 3-30 rpm
  • Soğutma Gerektiğinde
  • Kaplama Yönü Yukarıya doğru
  • Yükleme Odası Opsiyonel
  • Eldiveli Kabin Safsızlığı <1 ppm oksijen (O2) ve su buharı (H2O)
  • Kontrol Tam otomatik
BROŞÜRÜ İNDİR

GÜÇ KAYNAKLARI

  • Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
  • Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
  • Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
  • Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı