MiCKS
Vaksis MiCKS platformu prizmatik vakum kazanından oluşmaktadır ve magnetron saçtırma tekniği ile cam levhalar veya büyük yongalar üzerine kaplama yapmak için uygundur. Bu platform genellikle low-e kaplamalar, yansımaya karşı kaplamalar, elektrokromik kaplamalar, saydam iletken oksit kaplamalar, nitrür rezistansları, yüksek iletkenliğe sahip kaplamalar için kullanılmaktadır.
- En Düşük Basınç ≤ 5x10-8 Torr
- Alttaş Boyutu 30x30 cm' ye kadar
- Alttaş ısıtma Maks. 400oC
- Soğutma Gerektiğinde
- Kaplama Yönü Yukarıya/Aşağıya doğru
- Kaynak Sayısı 10' a kadar
- Yükleme Yükleme Odası Kullanılarak
- Kontrol Tam Otomatik
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
