Vaksis MiCKS platformu prizmatik vakum kazanından oluşmaktadır ve magnetron saçtırma tekniği ile cam levhalar veya büyük yongalar üzerine kaplama yapmak için uygundur. Bu platform genellikle low-e kaplamalar, yansımaya karşı kaplamalar, elektrokromik kaplamalar, saydam iletken oksit kaplamalar, nitrür rezistansları, yüksek iletkenliğe sahip kaplamalar için kullanılmaktadır.

  • En Düşük Basınç ≤ 5x10-8 Torr
  • Alttaş Boyutu 30x30 cm' ye kadar
  • Alttaş ısıtma Maks. 400o
  • Soğutma  Gerektiğinde
  • Kaplama Yönü Yukarıya/Aşağıya doğru
  • Kaynak Sayısı  10' a kadar
  • Yükleme Yükleme Odası Kullanılarak
  • Kontrol  Tam Otomatik
BROŞÜRÜ İNDİR

GÜÇ KAYNAKLARI

  • Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı