PVD handy 3M
Üç adet magnetron saçtırma kaynağı içeren vakum kaplama sistemi.
- Temel Basınç Düzeyi < 5x10-8 Torr
- Alttaş Boyutu 4" çapında
- Alttaş Isıtma 350 oC
- Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
- Buharlaştırma Yöntemi Saçtırma
- Buharlaştırma Yönü Yandan (tüm kaynaklar)
- Gaz Akışı Ar gazı için 1 MFC, diğer MFCler opsiyoneldir.
- Kaynak Sayısı 3 Magnetron
- Hedef Plaka Boyutu 2"
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Yükleme Kenar kapılardan
- Kontrol: Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
