MiDAS in Glovebox
Eldivenli Kabine (Glovebox) Entegre İnce Film Kaplama Sistemi:
Sistem iki adet vakum kazanı ve iki adet eldivenli kabinden oluşmaktadır. Bir kazanda altı adet efüzyon hücresi, diğer kazanda ise dört adet termal buharlaştırma kaynağı bulunmaktadır.
- En Düşük Basınç < 5x10-8 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Alttaş Isıtma Maks. 800 oC
- Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Eldivenli Kabin
- Malzeme 304 Paslanmaz Çelik, Sentetik Kauçuk Eldivenler
- Akış Oranı 45 m3/hr
- Sızdırmazlık Oranı < 0.001 vol%/hr SO 10648-2 Prosedürüne uygun
- Safsızlık Derecesi
- Standart < 1 ppm O2, H2O Nitrojen, Argon veya Helyum
- Opsiyonel Çok Yüksek Saflıkta Sistem < 0.1 ppm O2, H2O
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
