Sistem maksimum dört adet magnetron saçtırma kaynağı içerir. Bor nitrür katmanların değişik alttaşlarda büyütülmesi için tasarlanmış ve üretilmiştir.

  • En Düşük Basınç Düzeyi < 2x10-7 Torr
  • Alttaş Boyutu Maks. 3"
  • Alttaş ısıtma 500 oC
  • Alttaş Döndürme 1-30 rpm
  • Alttaş Besleme RF veya DC
  • Gaz Akışı Gazlar için MFC
  • Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
  • Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderebilirsiniz.

Diğer Magnetron Saçtırma