Çok Teknikli İnce Film Kaplama Sistemi:

Sistem, saçtırma ve termal buharlaştırma tekniği kullanarak tek bir alttaş üzerine maksimum beş farklı malzemeyi buharlaştırabilir.

  • Temel Basınç Düzeyi < 5x10-8 Torr
  • Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
  • Alttaş Boyutu 4" çapında
  • Alttaş Isıtma Maks. 800 oC
  • Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
  • Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
  • Büyütme Yönü Yukarıya doğru 
  • Kaynak Sayısı 6
  • Rezistif Termal Buharlaştırma Kaynağı 3 adet
  • Magnetron Saçtırma Kaynağı 2 adet
  • Indüktif Eşleşmiş Plazma Kaynağı 1 adet
  • Güç Kaynaklarının Sayısı 3
  • Yükleme Ön kapıdan
  • Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.

Diğer Çok Teknikli