RF Plazma Yüzey Modifikasyonu
Sistem oksijen ve diğer çeşitli gaz plazmaları kullanarak yüzeydeki kirliliği temizlemek, iki yüzey arası tutunmayı artırmak, yüzey gerilimini kontrol etmek, biyouyumluluğu artırmak gibi amaçlar için kullanılabilir.
- Temel Basınç Düzeyi: 5x10-3 Torr (opsiyonel: 5x10-6 Torr)
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Gaz Akış Kontrolü: 0,2 - 2 Torr
- Pompa: 1 adet meknik pompa (opsiyonel: turbomoleküler pompa)
- Pompalama Hızı ≥ 10 m3/sa (opsiyonel: 65 l/s TMP ile)
- Güç Kaynağı: 13.56 MHz, 300 W
- Vanalar: Blok vana ve gaz kısma vanası (opsiyonel: gate vana)
- Kontrol: Manuel (opsiyonel: tam otomatik)
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
