Sistem uygun alttaşlar üzerine grafen ve karbon nano-tüp (CNT) üretmek için özel olarak tasarlanmıştır. Uygun taşıyıcı gaz molekülleri ile ZnO, GeO gibi malzemelerden nanowire da üretebilmektedir.

  • Vakum Düzeyi < 1x10-5 Torr
  • Sızdırmazlık Düzeyi < 10-6 Torr.l/s
  • Kuartz Tüp Çapı 130 mm​
  • Maks. Sıcaklık  1000oC
  • Sürekli Çalışma Sıcaklığı 950oC
  • Isıtma Bölgesi Uzunluğu  Min.200 mm
  • Gaz Akış Kontrolcü Sayısı Min. 3
  • Yükleme  Kuartz tüpün bir ucundan
  • Kontrol Tam otomatik
BROŞÜRÜ İNDİR

Diğer Düşük Basınç CVD