PVD handy 1M sm
Düşük bütçeli projeler için bir adet magnetron saçtırma kaynağına sahip manuel kontrollü özel tasarım saçtırma sistemi.
Maks. 25 mm çapındaki cam veya yonga gibi düz yüzeyler üzerine nano- ve mikro-metre boyutundaki ince filmlerin/kaplamaların kontrollü olarak büyütülmesi için tasarlanmış ve üretilmiştir.
- Temel Basınç Düzeyi < 2x10-7 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Yüksek Basınç Pompası: 70 l/s turbomoleküler pompa
- Mekanik Pompa: 1 m3/sa yağsız mekanik pompa
- Alttaş Boyutu: 25 mm çapında
- Kalınlık Ölçümü: Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm (opsiyonel)
- Güç Kaynağı: 1 DC 500 W (Opsiyonel: 1 RF 300 W)
- Büyütme Yöntemi: Saçtırma
- Büyütme Yönü: Aşağıya doğru
- Kaynak Sayısı: 1
- Yükleme: Yukarıdan
- Kontrol: Manuel
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
