Sistem oksijen ve diğer çeşitli gaz plazmaları kullanarak yüzeydeki kirliliği temizlemek, iki yüzey arası tutunmayı artırmak, yüzey gerilimini kontrol etmek, biyouyumluluğu artırmak gibi amaçlar için kullanılabilir.

  • Temel Basınç Düzeyi: 5x10-3 Torr (opsiyonel: 5x10-6 Torr)
  • Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
  • Gaz Akış Kontrolü: 0,2 - 2 Torr
  • Pompa: 1 adet meknik pompa (opsiyonel: turbomoleküler pompa)
  • Pompalama Hızı ≥ 10 m3/sa (opsiyonel: 65 l/s TMP ile)
  • Güç Kaynağı: 13.56 MHz, 300 W
  • Vanalar: Blok vana ve gaz kısma vanası (opsiyonel: gate vana)
  • Kontrol: Manuel (opsiyonel: tam otomatik)
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine mail atınız.