Vakum Sert Lehimleme Sistemi
Sistem vakum sert lehimleme işlemi için özel olarak tasarlanmıştır. Yükleme işleminin kolay gerçekleşmesi için yatay konumlu silindirik vakum kazanının iki ucunda 120⁰ açılan iki kapı mevcuttur. Sistemde ısıtma ve soğutma bölgeleri haraketli yalıtım duvarı mekanizmasıyla ayrılmıştır. Ayrıca, soğutma sırasında gaz ajitasyonu da yapılabilmektedir.
- Temel Basınç Düzeyi < 10x10-6 Torr
- Sızdırmazlık Düzeyi < 10-8 Torr.l/s
- Vakum Kazanı: 90 cm çapında 150 cm uzunluğunda fırın
- Maks. Sıcaklık: 13000C
- Sürekli Çalışma Sıcaklığı: 12500C
- Sıcaklık Homojenitesi: 10000C veya üstünde maks. ±3, 10000C-20000C arasında maks.±5
- Difüzyon Pompası: 10.000 l/s
- Mekanik Destek Pompası: 500 m3/sa
- Basınç Okuma: Soğuk Katod ve Konvektron
- Kontrol: Bilgisayar üzerinden tam otomatik
- Gazlar: 4 adet MFC ve gaz saflaştırma sistemi
