Sistem tek bir alttaş üzerine maksimum üç faklı malzemeyi biriktirmek için kullanılır ve termal buharlaştırma, organik buharlaştırma ile saçtırma tekniklerini içerir.

  • Temel Basınç Düzeyi < 2x10-7 Torr
  • Alttaş Boyutu 3" çapında
  • Alttaş Isıtma 350 oC
  • Termal Buharlaştırma Kaynağı Sayısı 1
  • OLED/OPV Kaynağı Sayısı 1
  • RF/DC Magnetron Sayısı 1
  • Güç Kaynağı 1 DC 500 W (opsiyonel RF 300 W)
  • Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
  • Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.