PVD handy 1M1O1T
Sistem tek bir alttaş üzerine maksimum üç faklı malzemeyi biriktirmek için kullanılır ve termal buharlaştırma, organik buharlaştırma ile saçtırma tekniklerini içerir.
- Temel Basınç Düzeyi < 2x10-7 Torr
- Alttaş Boyutu 3" çapında
- Alttaş Isıtma 350 oC
- Termal Buharlaştırma Kaynağı Sayısı 1
- OLED/OPV Kaynağı Sayısı 1
- RF/DC Magnetron Sayısı 1
- Güç Kaynağı 1 DC 500 W (opsiyonel RF 300 W)
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
