Üç adet magnetron saçtırma kaynağı içeren vakum kaplama sistemi.

  • Temel Basınç Düzeyi: < 5x10-8 Torr
  • Alttaş Boyutu: 4" çapında
  • Alttaş Isıtma: 350 oC
  • Alttaş Döndürme: 3 - 30 rpm
  • Buharlaştırma Yöntemi: Saçtırma
  • Buharlaştırma Yönü: Yandan (tüm kaynaklar)
  • Gaz Akışı: Ar gazı için 1 MFC, diğer MFCler opsiyoneldir.
  • Kaynak Sayısı: 3 Magnetron
  • Hedef Plaka Boyutu: 2"
  • Kalınlık Ölçümü: Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
  • Yükleme: Kenar kapılardan
  • Kontrol: Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.

Diğer İnce Film