Sistem termal buharlaştırma yöntemiyle tek bir alttaş üzerine maksimum üç farklı malzeme büyütmek için kullanılabilir.

Aynı zamanda, aynı alttaş üzerine üç farklı malzemenin eş zamanlı buharlaştırılmasına imkan vermektedir.

  • Temel Basınç Düzeyi < 5x10-8 Torr
  • Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
  • Alttaş Boyutu 4" çapında
  • Alttaş Isıtma Maks. 800 oC
  • Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
  • Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
  • Büyütme Yöntemi Rezistif  Isıl Buharlaştırma
  • Büyütme Yönü Yukarıya doğru (tüm kaynaklar)
  • Kaynak Sayısı 3
  • Güç Kaynaklarının Sayısı 3
  • Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.

Diğer Yarıiletken