Sistem tek bir alttaş üzerine maksimum dört farklı malzemeyi elektron demeti yöntemiyle biriktirmek için kullanılır.

  • En Düşük Basınç ≤ 5x10-7 Torr
  • Alttaş Boyutu 4” çapında
  • Alttaş Isıtma maksimum 650o
  • Alttaş Döndürme 3-30 rpm
  • Büyütme Yönü Upward
  • Kaynak Sayısı 4 potalı 1 adet elektron demeti kaynağı
  • Pota Boyutu Her biri 8 cc 
  • Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal sensör ile anlık ölçüm
  • Kontrol Tam otomatik
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.

Diğer İnce Film