ANGORA PVD 4M
Sistem, kutu tipi vakum kazanlarından oluşmaktadır ve dört farklı malzemenin tek alttaş üzerine kaplanmasında kullanılabilmektedir.
- En Düşük Basınç < 2x10-7 Torr
- Alttaş Boyutu 4" çapında
- Alttaş Beslemesi RF veya DC
- Alttaş Isıtma 500oC
- Alttaş Soğutma Su soğutmalı
- Alttaş Döndürme 3-30 rpm
- Büyütme Yöntemi Saçtırma
- Büyütme Yönü Yukarıya doğru
- Kaynak Sayısı 2"lik 4 adet magnetron
- Gaz Akışı Ar gazı için 1 MFC diğer gazlar için MFCler opsiyoneldir
- Kalınlık Ölçüm Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Güç Kaynakları 1 adet darbeli RF ve 1 adet darbeli DC
- Yükleme Yukarıdan
- Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
