PVD handy 6T Twin
Sistem iki adet kazandan oluşmaktadır. Her kazanda maksimum üç farklı malzeme tek bir alttaş üzerinde termal buharlaştırma yöntemi ile büyütülebilir.
- Temel Basınç Düzeyi < 2x10-7 Torr
- Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
- Alttaş Boyutu 3" çapında
- Alttaş Isıtma Maksimum 500 oC
- Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
- Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
- Kaynak Sayısı 6 adet rezistif termal buharlaştırma kaynağı
- Büyütme Yönü Yukarıya doğru (tüm kaynaklar)
- Yükleme Yukarıdan
- Kontrol Tam otomatik pompalama, manuel buharlaştırma
Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.
