Sistem organometal halide perovskite güneş hücresi araştırmaları için kullanılabilir. Metal ve metal oksit biriktirmek için bir adet magnetron kaynağı, organik malzeme büyütmek için bir adet fırın tipi efüzyon hücresi, perovskite sitokiyometrik modifikasyonu için iki adet indüktif eşleşmiş plazma kaynağı ve yüzey modifikasyonu için

  • Temel Basınç Düzeyi < 5x10-8 Torr
  • Sızdırmazlık Oranı < 10-8 Torr.l/s
  • Alttaş Boyutu 6" çapında
  • Alttaş Isıtma 350 oC
  • Alttaş Döndürme 3 - 30 rpm
  • Kalınlık Ölçümü Kuartz kristal osilatör ile anlık ölçüm
  • Büyütme Yönü Yukarıya doğru 
  • Fırın-tipi Efüzyon Hücresi Sayısı 1
  • Magnetron Saçtırma Kaynağı Sayısı 1
  • İndüktif Eşleşmiş Plazma Kaynağı Sayısı 2
  • Mikrodalga Plazma Kaynağı Sayısı 1
  • Optik Emüsyon Spektrometresi Sayısı 1
  • Gaz Akışı 5 adet MFC
  • RF Güç Kaynakları Sayısı 2 (300 W)
  • Kontrol Bilgisayar üzerinden tam otomasyon
BROŞÜRÜ İNDİR

Daha detaylı bilgi için, info@vaksis.com adresine e-posta gönderiniz.