Vaksis MiDAS COATING SYSTEMS platformu prizmatik vakum kazanlarından oluşmaktadır ve farklı tekniklerin kombinasyonlarını içerebilir.

  • En Düşün Basınç ≤ 5x10-8 Torr
  • Alttaş Boyutu 4”- 8” çapında
  • Alttaş Isıtma Maks. 800o
  • Alttaş Döndürme 3-30 rpm
  • Soğutma Gerektiğinde
  • Kaplama Yönü Yukarıya doğru
  • Yükleme Odası Opsiyonel
  • Kontrol Tam Otomatik
BROŞÜRÜ İNDİR

GÜÇ KAYNAKLARI

  • Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
  • Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
  • Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
  • Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı