PVD handy twin
PVD-handy / Twin serisi Vaksis PVD - handy platformunun bir üyesidir. Bu seri, handy kelimesinin sözlük anlamı gibi kolay ve rahat kullanılabilirdir ve farklı tekniklerin kombinasyonlarını içerebilir.
- En düşük basınç ≈ 2x10-7 Torr
- Kazan Sayısı 2
- Alttaş Boyutu 4” çapında
- Alttaş Isıtma Maks. 500oC
- Alttaş Döndürme 3-30 rpm
- Kalınlık Ölçümü Büyütme sırasında kuvars kristal ile ölçüm
- Kaplama Yönü Yukarıya doğru
- Yükleme Döndürülerek açılan bell jar' dan
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
- Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı
