MiDAS twin
Vaksis MiDAS COATING SYSTEMS platformunun bir üyesi olan MiDAS Twin serisi, ortak pompalama istasyonuna sahip iki adet prizmatik vakum kazanından oluşmaktadır ve çeşitli teknikleri ve kombinasyonları içerir.
En Düşün Basınç ≤ 5x10-8 Torr
Kazan Sayısı 2
Alttaş Boyutu 4”- 8” çapında
Alttaş Isıtma Maks. 800oC
Alttaş Döndürme 3-30 rpm
Soğutma Gerektiğinde
Kaplama Yönü Yukarıya doğru
Yükleme Odası Opsiyonel
Kontrol Tam Otomatik
BROŞÜRÜ İNDİR
GÜÇ KAYNAKLARI
- Saçtırma Magnetron Kaynağı için DC ve/veya RF Güç Sağlayıcısı
- Metal ve/veya Organik Buharlaştırma Kaynakları için Efüzyon Hücresi A.C. Güç Sağlayıcısı
- Direnç Isıtmalı Buharlaştırma Kaynağı için Yüksek-Akım Düşük-Voltaj A.C. Güç Sağlayıcısı
- Elektron Demeti Buharlaştırma Kaynağı için Güç Sağlayıcısı
